将该产品安装在研削机上,可对硅晶片、半导体化合物晶片等加工物进行平面化减薄「Kezuru(削)」加工。
系列 | 加工対象 | 特点 | |
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GF01系列 | 硅晶片、半导体化合物晶片、面向电子元件的晶体材料、其他材料 | 通过新开发的金属磨轮圈,能够高效率地向加工部位供给研削水。 | |
GF01系列 BR385 |
硼硅酸玻璃、无碱玻璃、水晶、各种玻璃、其他材料 | 使用了树脂结合剂的研削磨轮。不但可进行玻璃研削的高品质加工,因为无需中间打磨,所以可实现稳定的连续研削。 | |
GS08系列 | 碳化硅(SiC)、矾土陶瓷、氮化硅、其他材料 | 采用多孔性陶瓷粘合剂,通过固定磨粒实现了SiC晶片的高品位研削 | |
IF系列 | 硅晶片、半导体化合物晶片、面向电子元件的晶体材料、其他材料 | 采用了已产生实际效果的标准金属磨轮圈 | |
Poligrind | 硅晶片、其他材料 | 在背面研削过程中,实现高品质加工的新型磨轮。 | |
Ultra Poligrind | 硅晶片、其他材料 | 实现了高抗折强度和维持吸杂性并存的新型精加工研削磨轮 | |
RS系列* | 硅晶片、半导体化合物晶片、面向电子元件的晶体材料、其他材料 | 提供专用于粗・中・精加工的研削磨论 |
*虽然DFG-83H/6本机已经停止对外销售,但本公司仍在继续提供RS系列产品。